一文了解:抗靜電塑料在半導體領域的應用
半導體製造極易受到誤操作和汙染的影響,對其保護和潔淨度的控製始於晶圓廠並延伸至實際應用中,抗靜電塑料在其中發揮重要作用。
一、抗靜電塑料的半導體領域應用
1、靜電對半導體的危害
造成器件靜電損傷
芯片的整個製程中,芯片產品(特別是集成度高或小尺寸的芯片產品)以及晶圓均對靜電敏感,容易受到相關設備或工具的靜電損傷;
靜電吸附塵埃、汙染物,降低成品率
半導體的光刻對塵埃特別敏感,在曝光工序時,無論是在晶片上還是在防護罩上的任何級別的塵埃都能引起管芯圖形的失效。而在外延生產工序中,晶片表麵沾染塵埃,其後果可能是工序生長率的偏離、不完美,晶粒的生長或晶體結構錯位。
2、抗靜電塑料的作用
顧名思義,抗靜電塑料的作用就是在半導體製程中防止靜電產生,有助於防止顆粒汙染並提高晶圓搬運、存儲和轉移的可靠性。抗靜電塑料廣泛應用於製作晶圓盒/載具、光罩盒、晶圓梳、夾具、托盤、 真空吸筆以及潔淨室廠房的建造等。

二、抗靜電塑料的原理
1、塑料的抗靜電方法
塑料具有較高的電阻率和良好的電絕緣性,絕大多數的塑料都是電絕緣材料,但易因摩擦或其他原因帶上靜電,導致吸塵、放電等。
目前有許多種方法被用來降低塑料的電阻,主要是表麵處理和添加導電性物質兩種方法。最常使用的方法就是在內部或表麵添加抗靜電劑,降低塑料表麵電阻,賦予其抗靜電性能。
2、抗靜電劑的作用
凡是能降低塑料表麵電阻、防止發生靜電堆積的材料都叫做抗靜電劑。抗靜電劑在塑料加工和使用過程中,會遷移到塑料製品的表麵,形成一層抗靜電劑層,加快靜電荷的“泄漏”。
抗靜電劑是一種表麵活性劑,它由親水基因和憎水基因兩部分組成,其作用如下:
1) 在塑料表麵形成平滑的抗靜電劑分子層,可減少摩擦,從而減少靜電的產生。
2) 塑料表麵的抗靜電劑分子層有一定的導電性,可以使靜電迅速“泄漏”。
3) 抗靜電劑分子本身帶有電荷,可中和電荷,消除靜電。
種類 |
結構 |
主要成分 |
陽離子型 |
季銨鹽、季磷鹽、季硫鹽 |
親油:單烷基、二烷基 |
非離子型 |
多元醇又多元醇酯 |
親油基:單烷基、二烷基 |
聚氧化乙烯加成物 |
親油基:烷基胺、烷基酰胺、脂肪醇、烷基酚 |
|
兩性離子型 |
內銨鹽 |
陰離子基:胺、烷基咪唑林 |
丙胺酸鹽 |
陽離子基:碳酸、磺酸 |
|
陰離子型 |
磷酸鹽 |
親水基:脂肪醇、聚氧化乙烯加成物 |
高分子型 |
聚丙烯酸衍生物 |
親水性:季胺、磺酸、碳酸 |
1)在成型溫度下穩定不分解、不揮發、不變色;
2)不降低或不顯著降低塑料製品的性能,不與塑料中的其它成分發生化學反應;
3)不過分向表麵滲透,防止出現發粘噴霜現象,耐久性好;
4)不影響或顯著影響塑料製品的二次加工性,如電鍍、印製、噴塗、焊接等;
5)無色、無臭、無味、無毒;
6)價格低廉。
熱門文章
-
老生常談,POM均聚甲醛和共聚甲醛的區別
POM是常見的工程塑料之一,而均聚甲醛和共聚甲醛是最常見的POM材料,二者結構相似,有很多共同點,那麼二者之間有什麼有什麼區別?今天就跟小編一起來了解一下。一、背景1960年 美國杜邦(DuPont)公司首次將均聚物型樹脂(DELRIN)商品化。1961年 美國Celanese公司(現在的Ti
瀏覽量:9266 -
你可知道PS塑料和ABS塑料哪個好?
問:ABS塑料與PS塑料哪個好? 答:一般來說,ABS塑料性能是優於PS塑料的,你用PS塑料可以做的產品,ABS塑料一般都可以打出來,而用ABS原料可以做的產品,PS原料不一定能做出來。 如果
瀏覽量:8427 -
ETPU是什麼材料?這個就是我們要了解的
ETPU是一種質地柔軟、彈性極佳,耐磨、耐撕裂、止滑性能優異的熱塑彈性體材料,廣泛應用於鞋材領域,不但適合製作運動鞋中底和內底,還適合用於抗反複衝擊、運動防護、阻尼、家
瀏覽量:7935 -
帶你了解POP和POE塑料的區別在哪裏?
兩者沒有本質的區別,隻是共聚單體含量上有所區別,絕大部分塑性體和彈性體基料都是乙烯,隻有DOW的Versify、EXXON的Vistamaxx、三井的Tafmer是丙烯基,共聚單體都為辛烯(8C)、己烯(6C)或丁烯(4C),一般POE共聚單體含量高於20%,POP共聚單體小於20%,因為共聚單體含量的多少導致POE與POP的密度差異,一般POP的密度要高與POE。
瀏覽量:6188 -
聚丙烯帶你了解均聚PP和共聚PP的區別
聚丙烯,是由丙烯聚合而製得的一種熱塑性樹脂。按甲基排列位置分為等規聚丙烯(isotactic polypropylene)、無規聚丙烯(atactic polypropylene)和間規聚丙烯(syndiotactic polypropylene)三種,今
瀏覽量:5302 -
韓國SK材料ECOZEN與SKYGREEN的區別在哪裏?
現實生活中很多透明食品容器都用不含雙酚A的透明塑膠原料,所以很多選擇韓國SK材料ECOZEN與SKYGREEN,今天小編一一帶大家分別韓國SK材料ECOZEN與SKYGREEN的區別在哪裏? ECOZEN是透明耐高溫
瀏覽量:5141 -
SPS是什麼塑料?關於XAREC簡單介紹
間規聚苯乙烯樹脂(SPS塑料),是1985年由日本出光成功合成,並於1997年由日本出光實現工業化的純國產聚合物。(商品名《XAREC》是使用間規聚苯乙烯樹脂(SPS)的等級群的品牌。)
瀏覽量:5045 -
POM與PA比,哪個更耐磨?
眾所周知塑料齒輪多采用POM和PA,POM因剛性和耐疲勞性高,具有更廣泛的應用,POM齒輪相對金屬齒輪有較多的優點:質量輕、工作噪音小、耐磨損、無需潤滑、可以成型較為複雜的形狀、
瀏覽量:4998 -
速看!耐高溫塑料彙總:8大類高耐熱工程塑料···
塑料按長期使用溫度分類,可分為通用塑料、工程塑料和高溫工程塑料,其中高溫塑料又被稱為耐熱塑料、高性能塑料、特種工程塑料等。工程塑料的長期使用溫度在100℃至150℃左右。五大工程塑料包括PA、POM、PBT、PC和PPO。通常應用於機械零件、汽車、電器電子等領域。高溫工程塑料的使用溫度在150℃以上,這類材料除了較高的耐
瀏覽量:4616 -
PC抗老化一般幾年?這就是我們要了解的
PC塑料簡介(聚碳酸酯) 英文名稱:Polycarbonate 聚碳酸酯是日常常見的一種材料,PC是一種線型碳酸聚酯,分子中碳酸基團與另一些基團交替排列,這些基團可以是芳香族,可以是脂肪族,也可兩者皆有。雙酚A型PC是很重要的工業產品,PC是幾乎無色的玻璃態的無定形聚合物,有很好的光學性。現在PC的介紹已經介紹完了,那現在我們要
瀏覽量:4343 -
關於PPE/PS、你知道多少呢?
PPE/PS就是PPO,中文名稱叫聚苯醚,PPE/PS複合材料是在PPE的基礎上機上其他熱塑性材料例如PS(苯乙烯)、PA(聚酰胺,俗稱尼龍)等材料的複合材料。這樣加工成型後具有良好的幾何穩定性、化
瀏覽量:4132 -
關於PMP材料,你了解多少?
相關詞條 PMP簡介 PMP特性 PMP應用 PMP注塑 PMP簡介 PMP學名 聚4-甲基戊烯-1單體 4-甲基戊烯-1本色 聚4-甲基戊烯-1是一種高結晶透明塑料,比重為0.83,是所有塑料中最輕的。表麵硬度較低,無
瀏覽量:3889 -
聚芳碸(PASF)是什麼材料?
中文名稱:聚芳碸 英文名稱:polyarylsulfone 牌號:PAS 色態:琥珀色透明顆粒 製得:由4,4`-二磺酰氯二苯醚與聯苯反應製得 應用:常用作金屬詹黏結劑。 PASF聚芳碸性能 與雙酚A型聚碸相比
瀏覽量:3804 -
PC抗UV與不抗UV有何區別?
PC抗UV就是PC塑膠原料含有抗紫外線吸收劑 熱穩定劑,含有抗紫外線,耐老化,耐黃變的性能,UV是紫外線的縮寫,英文全稱為ultraviolet,紫外線波長為:10-400nm , UVA 波長在 320-390nm ,紫外線會導致設備外殼老化,暴露在戶外的設備通常需要抗uv。抗UV耐候PC原料在日常生活中,處處可見的陽光棚的板、電動車遮陽棚、瓦楞板、
瀏覽量:3521 -
PEI ULTEM材料眼鏡與PA12 TR90材料眼鏡有什···
現在很多的眼鏡架都是塑料製品,那麼你知道這些塑料製品一般是什麼材料嗎?眼鏡架最主要的是由PEI ULTEM材料和PA12 TR90材料製作的,那麼PEI ULTEM材料眼鏡與PA12 TR90材料眼鏡有什麼區別
瀏覽量:3433
推薦文章
有什麼耐酸堿,耐油,耐化學性PC材料?
信息摘要: PC內應力開裂測試: 在室溫下用冰醋酸或四氯化碳溶劑浸泡未經退火處理的帶螺絲部件的注塑製品,從放入溶劑中到出現裂紋的時間,記為應力開裂時間,那麼有什麼耐酸堿
防靜電pps塑料生產廠家需要達到哪些要求?
由於現在 防靜電pps塑料 的應用開始越來越廣泛,而且確實可以給我們帶來非常好的加工特性以及使用的質量,能夠達到非常多的使用功能以及加工的特性特點,所以現在生產這種塑料的
法國彼歐發布新款智能保險杠和後擋板
在1月13-28日北美2018底特律車展上,法國汽車注塑商彼歐集團(PLASTIC OMNIUM)發布其最新的智能保險杠和更輕便、活性的後擋板,讓汽車駕駛更加安全、清潔,助力汽車互聯。 綜合雷達
Vectra係列LCP液晶聚合物簡單介紹
Vectra LCP液晶聚合物是一種高結晶,熱致(熔融取向)熱塑性塑料,因此,在薄壁製件的應用上,它具有異常高的精度、尺寸穩定性,優異的高溫性能和抗化學性。塞拉尼斯工程材料業務
如何解決玻纖增強PC出現的“浮纖”?
在PC(聚碳酸酯)中添加玻璃纖維、增韌劑等填料可顯著增加材料的力學性能。但在玻纖增強PC注射成型過程中,“浮纖”現象經常出現。浮纖也叫露纖,即玻璃纖維露在產品表麵,比較粗糙。由於玻纖外露,使得此類產品的應用受到了限製,主要應用於高強度的結構件。而凡是用加纖材料做外觀件的,都是亞光麵或蝕紋麵(例如電動工具)
10月24日塑膠原料報價
PE? 市場價格弱勢震蕩,部分地區 價格走跌,市場氛圍整體偏空,終端按需采購為主。華南地區LLDPE價格參考在9850-10000元/噸。 PP? 市場價格小幅盤整,石化庫存持續回升,市場看空情
PMMA為啥被稱為“有機玻璃”?三分鍾帶你了解下
塑料,作為21世紀應用較為廣泛的材料,形色各異的塑料應用在我們生活的個方麵。但在取代玻璃應用方麵,卻鮮有塑料能和PMMA一較高下,今天就帶大家了解下PMMA的性能與加工。 聚甲基
美國杜邦PA66 70G33L有哪些物性?
PA6670G33L美國杜邦公司 物性數據 ①原料描述部分 規格級別: 注塑級 外觀顏色: --- 用途概述: --- 備注說明: 特性:高強度33%玻纖 ②原料技術數據 性能項目 試驗條件[狀態] 測試方法
聚乳酸有哪些低溫性能?
對於高分子聚合物而言,其狀態的變化與小分子有所區別,通常情況下存在“四個溫度與三種狀態”。從物理學的角度來說是,運動是絕對的,靜止是相對的,世上萬事萬物無時無刻都是在處於不斷運動的過程中。對於聚合物而言,當外界溫度很低時,聚合物的分子鏈類似被冰封凍結,無法運動,此時聚合物宏觀上呈現為固態,微觀上係統
怎麼解決透明PC注塑內應力紋?壓縮成型派上用場
都說塑膠手機外殼在5G時代比重將逐漸上升,2019年塑膠可能占到70%,塑膠手機外殼新工藝主要有幾種工藝,複合板材(2.5D/3D),IMT(3D),以及PC注塑仿玻璃。透明PC仿玻璃,注塑產生的